เครื่องวัดความเร่ง MEMS

แบบอย่าง

หน่วย

SiA202

SiA205

SiA210

SiA215

SiA230

SiA250

SiA2100

ช่วงการวัด

g

±2

±5

±10

±15

±30

±50

±100

ค่าออฟเซ็ต

มก

0.14

0.35

0.7

1.05

2.1

3.5

7

ความสามารถในการทำซ้ำออฟเซ็ต

มก

0.24

0.6

1.2

1.8

3.6

6

12

เสถียรภาพออฟเซ็ต

ส.ค

3

7.5

15

22.5

45

75

150

สเกลแฟคเตอร์

มิลลิโวลต์/กรัม

1350

540

270

180

90

54

27

ความสามารถในการทำซ้ำของสเกลแฟคเตอร์

ppm

400

เสถียรภาพของสเกลแฟคเตอร์

ppm

120

มุมไม่ตรง

คุณ

10

เกณฑ์ (1Hz)

ใช่ RM

7

17

34

51

102

170

340

ไม่ใช่-ความเป็นเชิงเส้น (IEEE)

% เอฟเอส

0.3

อุณหภูมิในการทำงาน

ระดับ

-40-125

การใช้พลังงาน

เมกะวัตต์

10

มิติ

มม.2

9×9

SiA202

หมายเหตุ

หน่วย

นาที

ประเภท

สูงสุด

ช่วงการวัด

g

±2

ไม่ใช่-ความเป็นเชิงเส้น

มาตรฐาน IEEE, % เต็มสเกล (FS)

%

0.3

1.0

การตอบสนองความถี่

-3dB

เฮิรตซ์

200

ความถี่เรโซแนนซ์

การทำให้หมาด ๆ มากเกินไป

กิโลเฮิร์ตซ์

1.4

ข้อผิดพลาดในการแก้ไขการสั่นสะเทือน

ความถี่เฉลี่ย [50Hz, 2kHz]

µg/g²

1300

เสียงรบกวน

ภายในย่านความถี่

มก./ √เฮิร์ตซ์

7

ปณิธาน

@1เฮิร์ตซ์

ไมโครกรัม RMS

7

เริ่มต้น-เวลาตอบสนอง

ความล่าช้าในการใช้งาน: หนึ่งรอบการเคลื่อนไหว

µs

40

ค่าออฟเซ็ต (K0) ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิ

ช่วงการวัด [-40 องศา , 85 องศา ]

มก./องศา

75

ข้อผิดพลาดค่าออฟเซ็ตที่ครอบคลุม (K0)

ช่วงอุณหภูมิ [-40 องศา , 85 องศา ]

มก

0.14

สเกลแฟกเตอร์ (K1) ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิ

ช่วงการวัด [-40 องศา , 85 องศา ]

ppm/องศา

20

120

220

สเกลแฟกเตอร์ที่ครอบคลุม (K1)

ช่วงอุณหภูมิ [-40 องศา , 85 องศา ]

มิลลิโวลต์/กรัม

1330

1350

1370

แรงดันเอาต์พุตการตรวจจับอุณหภูมิ @ 20 องศา

V

1.20

1.23

1.26

ความไวในการตรวจจับอุณหภูมิ

มิลลิโวลต์/องศา

-4.0

รีเซ็ตแรงดันไฟฟ้าเกณฑ์

ใช้งานต่ำ

%วีดีดี

20

แรงดันไฟฟ้าที่ใช้งาน

V

3.2

3.3

3.4

การดำเนินงานในปัจจุบัน

มิลลิแอมป์

2.3

4